復疊式深冷機組維護的關鍵步驟包括以下幾點：

1. 清潔：定期清潔深冷機組的內部和外部部件，包括換熱器、壓縮機、風扇等。使用適當的清潔劑和工具，確保清潔并避免損壞機組。

2. 潤滑：檢查潤滑系統，確保潤滑油的質量和合適的潤滑級別。根據制造商的建議，定期更換潤滑油，并清洗或更換相應的過濾器。

3. 系統檢查：定期檢查電氣系統、控制系統和傳感器等關鍵部件的運行狀態。檢查電線和連接是否正常，確保系統的穩定性和安全性。

4. 溫度和壓力監測：定期檢查深冷機組的溫度和壓力。使用合適的測試儀器進行測量，并與設備規格和標準進行比較，以確保操作在正常范圍內。

5. 故障排除：如果發現任何異常現象或故障，立即采取適當的措施進行排除。這可能包括更換零部件、修復電氣問題或重新校準控制系統。

6. 定期維護：根據制造商的建議，執行定期維護計劃。這可能包括更換零部件、清潔過濾器、校準控制系統等，以確保機組的性能和可靠性。